磁芯螺线管微电感的计算机模拟(6)

磁芯螺线管微电感的计算机模拟

对比，三者结果吻合较好。在4mm×4mm外形面积下，从材料性质和几何参数两个方面，磁芯、线圈、绝缘材料和衬底四个部分研究和分析各种相关参数对微电感的性能影响，并提出了优化设计方案。

(3) 磁芯螺线管微电感的制造和测试本文结合MEMS工艺，设计和制造了NiFe磁芯材料的螺线管微电感。制造过程涉及溅射、光刻、电镀、干法刻蚀和湿法刻蚀等MEMS工艺，以及双面套刻、多层深度光刻、深层微电铸工艺、聚酰亚胺绝缘及其精密机械抛光等关键制造技术，获得了具有较高性能的磁芯螺线管微电感。对所研制的微电感，在1-10MHz频率范围内，采用Agilent E4991A阻抗分析仪和Cascade公司的微波探针台进行性能测试，主要包括电感量和品质因子Q值。研究结果表明：对于磁芯材料为NiFe薄膜的微电感，增大磁芯厚度，可以提高电感量，但以降低Q值为代价。

6.期刊论文 方东明.赵小林.王西宁.周勇.FANG Dong-ming.ZHAO Xiao-lin.WANG Xi-ning.ZHOU Yong 射频螺线管微电感的设计和仿真 -传感技术学报2006,19(5)

为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.

7.期刊论文 高孝裕.周勇.雷冲.陈吉安.倪智平.毛海平.王志民.GAO Xiaoyu.ZHOU Yong.LEI Chong.CHEN Jian.NIZhiping.MAO Haiping.WANG Zhimin MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究 -固体电子学研究与进展2005,25(4)

采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等.研制的微电感大小为1 500 μm×900μm×100 μm,线圈匝数为41匝,宽度为20 μm,线圈之间的间隙为20 μm,高深宽比为5∶1.测试结果表明:在1～10 MHz频率下,其电感量为0.408～0.326μH,Q值为1.6～4.2.

8.期刊论文 吴茂松.杨春生.茅昕辉.赵小林.蔡炳初 铁芯和空芯螺线管型微电感器的性能比较 -微细加工技术2003(1)

为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求,用正、负胶结合的微加工工艺,在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数均相同的两种螺线管型微电感器,测试了它们在1～40MHz频率范围的电感、电阻和Q因子,并进行了比较和讨论.其结果与现有理论知识相一致.实验证明了具有坡莫合金铁芯的螺线管型微电感器在低于30MHz的频率下使用更有意义.而无铁芯螺线管型微电感器还可以用于更高频率的场合.

9.期刊论文 高孝裕.陈吉安.周勇.雷冲.王明军.张亚民.周志敏.毛海平.GAO Xiao-yu.CHEN Jian.ZHOU Yong.LEIChong.WANG Ming-jun.ZHANG Ya-min.ZHOU Zhi-min.MAO Hai-ping 磁性薄膜微电感器件的研究进展 -电子元件与材料2005,24(4)

综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响.

10.期刊论文 高孝裕.周勇.陈吉安.毛海平.雷冲.张亚民.王明军.GAO Xiao-yu.ZHOU Yong.CHEN Jian.MAO Hai-ping.LEI Chong.ZHANG Ya-min.WANG Ming-jun 不同磁芯材料在微电感中的应用 -半导体技术2005,30(10)

叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值.并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程.

引证文献(1条)

1.李春生.杨中海.黄桃 有限长通电螺线管空间磁场分析[期刊论文]-现代电子技术 2009(11)

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